Инженер по производству наногетероструктурных сверхвысокочастотных монолитных интегральных схем (6 уровень квалификации)

Трудовые действия

1 . Разработка топологии тестовых структур для характеризации параметров элементов монолитных интегральных схем (МИС)

2 . Разработка топологии МИС СВЧ, согласование их с технологами, внесение необходимых изменений

3 . Разработка и подготовка файлов для электронной литографии с предъявлением их для технического контроля, внесение необходимых изменений

4 . Разработка и подготовка файлов для изготовления фотошаблонов с предъявлением их для технического контроля, внесение необходимых изменений

Необходимые умения

1 . Применять метод декомпозиции при анализе тестовых структур и МИС СВЧ

2 . Оценивать допуски на элементы при межоперационном контроле параметров

3 . Переходить от схемы принципиальной электрической к топологии МИС СВЧ, используя систему автоматизации проектирования (САПР)

4 . Планировать и оптимизировать контрольные операции в процессе прохождения пластин по технологическому маршруту

5 . Осуществлять разработку топологии тестовых структур на пластине для проведения межоперационного контроля совместно с технологами

6 . Выбирать методики измерения параметров тестовых структур при межоперационном контроле технологического процесса

7 . Выбирать оборудование для межоперационного контроля

8 . Анализировать статистическими методами результаты измерения параметров тестовых структур и делать заключение об их нахождении в пределах заданных допусков, приемлемых для достижения технических требований на МИС

9 . Рассчитывать параметры МИС с учетом особенностей топологии

10 . Разрабатывать техническое задание на изменение технологии

11 . Взаимодействовать с технологическими подразделениями при передаче топологии в производство

12 . Подготавливать файлы необходимых форматов для электронных шаблонов проекционной литографии

13 . Работать на установке изготовления фотошаблонов

Необходимые знания

1 . Основы технологии производства МИС СВЧ

2 . Основы статистического анализа

3 . Методы статистической обработки данных и теории чувствительности устройств к разбросам параметров компонент

4 . Теория и методы планирования эксперимента

5 . Методики межоперационного контроля

6 . Параметры гетероструктур и материалов, применяемых в технологии МИС СВЧ

7 . Теория допусков применительно к наноэлектронике СВЧ

8 . Методы разработки библиотек моделей пассивных и активных элементов МИС СВЧ

9 . Современные системы проектирования топологии СВЧ-устройств и МИС СВЧ

10 . Топологические библиотеки моделей пассивных и активных элементов МИС СВЧ

11 . Оборудование для измерения и контроля параметров тестовых структур и МИС СВЧ

12 . Методология системы менеджмента качества

13 . Основы технологии электронной литографии

14 . Методики и нормативная документация на подготовку конструкторской документации (КД) для электронной литографии

15 . Основы технологии изготовления фотошаблонов для проекционной литографии

16 . Методики и нормативная документация на подготовку КД для изготовления фотошаблонов

Дополнительные сведения

1 . Деятельность, направленная на создание топологий МИС СВЧ, являющихся интеллектуальным продуктом, защищаемым авторами как «Топология ИС»

Трудовые действия

1 . Разработка методик измерений параметров тестовых структур и МИС СВЧ на пластине в соответствии с требованиями технического задания

2 . Проведение измерений тестовых структур и МИС СВЧ, анализ данных измерений

Необходимые умения

1 . Разрабатывать нормативную документацию на методики измерений тестовых структур и СВЧ МИС

2 . Проводить измерение параметров на постоянном токе, в импульсном режиме и на СВЧ на современном оборудовании

3 . Формировать базы данных измерений

4 . Проводить статистическую обработку данных

5 . Проводить метрологическую экспертизу измерений параметров

6 . Составлять акты и протоколы о проведении измерений

7 . Готовить и согласовывать проекты технических условий

Необходимые знания

1 . Способы и методы измерений параметров тестовых структур и МИС СВЧ на пластине в соответствии с требованиями пунктов технического задания

2 . Статистический анализ результатов проведения измерений

3 . Метрологическое обеспечение измерений

4 . Нормативная документация на разработку технических условий

Дополнительные сведения

1 . Деятельность, направленная на обеспечение производства методиками и средствами измерения параметров элементов и МИС СВЧ

Трудовые действия

1 . Разработка методик испытания параметров МИС СВЧ

2 . Разработка методик и критериев контроля и отбраковки МИС СВЧ

Необходимые умения

1 . Проводить и контролировать процедуры приемо-сдаточных испытаний

2 . Согласовывать технические условия

3 . Составлять протоколы приемо-сдаточных испытаний

4 . Измерять вольт-амперные и вольт-фарадные характеристики, частотные и динамические характеристики, устанавливать критерии их контроля

Необходимые знания

1 . Методы проведения испытаний на электрические и эксплуатационные параметры

2 . Методы контроля параметров по постоянному току

3 . Методы контроля параметров на СВЧ

4 . Автоматизация зондовых измерений

5 . Метрологическое обеспечение испытаний

Дополнительные сведения

1 . Деятельность, направленная на обеспечение надежности СВЧ МИС